深圳半导体设备制造商思凯瑞工业机械有限公司在2025年SEMICON China展会上的惊艳表现，详细阐述了其推出的多款半导体工艺设备、检测和测量解决方案，以及公司的背景、技术实力等，展现了其向国际竞争对手发起挑战、打破市场垄断的态势。
2025年，在备受瞩目的SEMICON China展会上，来自深圳的半导体设备制造商——思凯瑞工业机械有限公司（SiCarrier Industrial Machines Co., Ltd.）宛如一颗耀眼的新星，惊艳登场。此次展会成为了思凯瑞大放异彩的舞台，该公司一次性重磅推出了五款全新的半导体工艺设备，这一壮举无疑是向国际竞争对手正式发起了强有力的挑战。
这场意义非凡的展会于3月26日至27日在上海盛大举行。在展会上，SiCarrier展示了一系列令人瞩目的新品，其中包括外延沉积设备（EPI）、原子层沉积设备（ALD）、物理气相沉积设备（PVD）、刻蚀设备（ETCH）和化学气相沉积设备（CVD）等。这些设备一经亮相，便如同磁石一般，立即吸引了业内专业人士、潜在客户以及竞争对手的高度关注。可以说，SiCarrier正以势不可挡的姿态，逐步成为中国半导体制造业中一颗冉冉升起的新星。
SiCarrier是一家有着强大背景支持的企业。它不仅获得了国家的支持，还与华为等科技巨头建立了紧密的合作关系。公司专注于半导体设备及电子制造工具的研发与生产。SiCarrier成立于2022年，其母公司思凯瑞科技则早在2021年就已成立，这两家企业均由企业家于海创立，并且全资隶属于深圳市重大产业投资集团，而该集团又隶属于深圳市国有资产监督管理委员会。
SiCarrier此次推出的新设备，精准地针对半导体生产中的关键环节。例如，先进节点和第三代半导体的外延生长、5纳米以下精度的原子层沉积，以及广泛应用于多种制造流程的化学气相沉积等。长期以来，这些领域一直被应用材料公司（AMAT）、东京毅力电子（TEL）和ASM国际等跨国公司牢牢主导。
目前，这些工艺设备的市场主要被外国供应商所控制。具体来看，AMAT和TEL在外延设备领域处于领先地位，而ALD市场则主要由ASM和TEL占据，两者合计市场份额超过60%。在PVD设备方面，AMAT更是占据了高达85%的市场份额。然而，SiCarrier的最新产品旨在打破这一垄断局面。它采用了先进的反应室设计，能够实现纳米级的薄膜均匀性控制，为市场带来了新的希望。
除了上述的沉积设备，SiCarrier还展示了其下一代光刻胶涂布与显影设备。这款设备支持14纳米及以下节点，这标志着公司在长期被外国企业控制的领域取得了重大突破，为国内半导体产业的发展注入了一剂强心针。
在半导体检测和测量领域，SiCarrier同样没有停下前进的脚步。半导体检测和测量是芯片制造质量控制的关键环节。公司已经开发出13种关键检测设备，其中包括背焦散射检测（BFI）、干涉光学测量（IBO）、原子力显微镜测量（AFM）和功率器件测试（RATE – CP）等。这些设备广泛应用于逻辑、存储和化合物半导体制造领域。
随着工艺节点不断缩小至14纳米及以下，检测和测量对于提高半导体良率变得至关重要。行业分析师指出，缺陷检测准确性的微小降低都可能对整体晶圆良率产生重大影响，因此高精度测量工具成为了制造商的关键投资。
根据VLSI Research的数据显示，全球半导体检测和测量市场在2023年达到了128.3亿美元，其中中国市场为43.6亿美元。尽管市场规模庞大，但国内制造商在与外国企业竞争时一直面临着诸多困难。不过，近年来，国内企业在测量领域的市场份额正在逐步上升，从2019年的0.61%增长至2023年的4.34%，这反映了半导体检测和测量领域加速本土化的趋势。
SiCarrier在技术研发方面成果丰硕，已经积累了80多项专利，涵盖光学系统、材料和工艺控制技术等多个领域。最近申请的专利包括热辐射结构、工艺室设计和静电吸盘技术等方面的创新，这些技术有效解决了晶圆处理中的电荷耗散挑战。
目前，SiCarrier已经开发出六大类半导体工具，并且计划继续提升其技术能力。深圳作为中国半导体行业的重要枢纽，虽然在芯片设计方面历史悠久且表现出色，但在制造方面一直相对落后。而SiCarrier的崛起，无疑为深圳半导体制造业注入了新的活力，让人们对深圳半导体产业的未来充满了期待。
思凯瑞工业机械有限公司在2025年SEMICON China展会上推出多款半导体工艺设备、检测和测量解决方案等情况。该公司背景强大，其新设备针对关键环节，旨在打破外国企业的市场垄断。同时，思凯瑞在检测和测量领域也有成果，且积累了多项专利。它的崛起为深圳半导体制造业带来了新的发展机遇，反映了国内半导体产业本土化加速的趋势。
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